Полировальные подушки для ХМП (CMP)

Три типа полировальных подушек образуют отдельную линейку для грубой, финишной и поверхностной обработки пластин, подложек и оптических материалов.

SiCCMPSample → Batch
ЛИНЕЙКА 02 · CMP

Полировальные подушки для ХМП (CMP)

Полиуретановые полировальные подушки, полировальные подушки на нетканой основе и типа suede подбираются по материалу, этапу, оборудованию и целевым параметрам.

CMP
Полиуретановые полировальные подушки

Полиуретановые полировальные подушки

Вспененный отверждённый полиуретан с закрытыми ячейками: износостойкость, высокая производительность и малая деформация для грубой полировки.

Подробнее
Полировальные подушки на нетканой основе

Полировальные подушки на нетканой основе

Проницаемая полимерно-волокнистая структура с разной микроструктурой для финишной полировки.

Подробнее
Полировальные подушки типа suede на нетканой основе

Полировальные подушки типа suede на нетканой основе

Низкая твёрдость, повышенная сжимаемость и эластичность для снижения шероховатости и улучшения равномерности.

Подробнее
Грубая полировкаФинишная полировкаКанавкиТвёрдость и сжатиеСовместимостьИспытание образцов
Испытания и совместимость с оборудованием
PROCESS VALIDATION

Испытания и совместимость с оборудованием

Проверяются диаметр стола, режим, стадия полировки и требования к поверхности; при необходимости — образцы.

Грубая полировкаФинишная полировкаКанавкиТвёрдость и сжатиеСовместимостьИспытание образцов
PRODUCTION & LAB

Производственные и лабораторные условия

Линия мокрого формования нетканого материала, оборудование обработки поверхности, лаборатории полировки и контроля обеспечивают подготовку материала, обработку и проверку характеристик.

  • Полиуретановые полировальные подушки
  • Полировальные подушки на нетканой основе
  • Лаборатории разработки и контроля
  • Полировальное оборудование и проверка
Производственные и лабораторные условия

Нужен подбор полировальной подушки под ваш процесс?

Передайте материал, оборудование, этап полировки и целевые показатели — подготовим вариант для технического обсуждения.

Передать параметры процесса
Запросить цену